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KINY旋轉陰極

KINY陰極?

定制陰極交鑰匙優質方案

新品定制

根據您機型選擇垂直或水平方向蓋板，搭配最先進成熟技術，最終以您工藝需求進行制定提供交鑰匙工程。

技術亮點：

·排空概念?：可將旋轉靶筒中空氣完全排盡，解決水平鍍膜尤其是由下向上濺射靶筒頂端存在空氣的問題，主要用于卷繞膜、異質結、LOW-E等。

·擺動概念?：磁鋼可獨立于靶筒在線旋轉角度。適用于面板顯示、工具鍍等。

·均勻性：±2.0%

陰極改造

根據您現有陰極尺寸制作蓋板匹配外部機械機構及電氣控制系統，其中使用KINY端頭及磁鋼。亦可根據現有您端頭安裝尺寸進行定制改造，融入更先進的技術進行升級，對于任何制造商的陰極，我們均擁有即插即用的端頭。

平面陰極改造

根據您現有平面陰極尺寸制作蓋板匹配外部機械機構及電氣控制系統，將改造為旋轉靶，提高靶材利用率至80%-90%，提高濺射速率，有效減少打弧穩定工藝，減少腔室內濺射物的附著，延長換靶周期降低保養成本。

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